A penyejukialah peranti air penyejuk yang boleh memberikan tekanan malar, suhu malar, dan aliran malar. Ia adalah dengan menyuntik jumlah air yang sesuai ke dalam tangki air, menyejukkan air melalui sistem penyejukan, dan menggunakan pam untuk mengangkut air penyejuk ke peralatan yang perlu disejukkan. Air penyejuk menghilangkan haba dalam peralatan untuk mencapai kesan penyejukan. Air penyejuk ditambah kepada peralatan frekuensi pertengahan terutamanya kerana frekuensi tinggi dan arusnya yang besar. Apabila sasaran sputtering magnetron digunakan, ia akan menjana suhu tinggi dan mengubah bentuk pistol, jadi jaket air diperlukan untuk menyejukkan pistol. Magnetron sputtering boleh dikatakan sebagai salah satu pencapaian yang paling cemerlang dalam teknologi salutan. Kelebihannya ialah daya ikatan filem-substrat yang baik, kadar sputtering yang tinggi, kenaikan suhu substrat yang rendah, dan kestabilan peranti yang baik. Penyejuk mempunyai sistem peredaran air bebas dan sistem penyejukan bebas, yang tidak terjejas oleh persekitaran luaran. Bersama-sama, ciri-ciri ini menyediakan kawalan suhu yang boleh dipercayai dan hasil salutan berkualiti tinggi untuk proses salutan ion vakum.
Fungsi dan ciri penyejuk dalam mesin salutan ion vakum termasuk:
1. Menyejukkan sasaran: Sasaran dalam mesin salutan ion vakum digunakan untuk menghasilkan ion logam, tetapi ia akan menghasilkan banyak haba semasa proses salutan. Penyejuk dengan cepat menyejukkan sasaran melalui sistem penyejukan beredar untuk mengekalkan suhu operasi biasa sasaran, mengelakkan peralatan daripada terlalu panas untuk menyebabkan kegagalan atau mengurangkan kualiti salutan, dan memastikan keluaran ion yang stabil.
2. Kawalan kestabilan: Thepenyejukboleh mengawal suhu peralatan secara stabil untuk memastikan peralatan beroperasi secara stabil dalam julat suhu operasi biasa. Ini membantu mengekalkan ketekalan dan kestabilan salutan, meningkatkan ketekalan dan kebolehpercayaan kualiti salutan.
3. Pelarasan ketepatan tinggi: Parameter operasi penyejuk boleh dilaraskan mengikut keperluan khusus, termasuk suhu, aliran dan tekanan air penyejuk. Ini membolehkan penyejuk menyediakan kawalan suhu yang tepat mengikut keperluan salutan yang berbeza, memastikan kestabilan dan kualiti tinggi proses salutan.
3. Penjimatan tenaga: Kapasiti penyejukan berkecekapan tinggi dan fungsi kawalan tepat penyejuk membantu mengurangkan penggunaan tenaga. Dengan mengawal suhu peralatan secara berkesan, sisa tenaga tambahan dapat dikurangkan dan kecekapan penggunaan tenaga dapat dipertingkatkan.
5. Prestasi perlindungan alam sekitar: penggunaan penyejuk dalam mesin salutan ion vakum boleh mengurangkan kesan buruk terhadap alam sekitar. Ia menggunakan air beredar untuk penyejukan, mengurangkan penggunaan air, dan menghasilkan bunyi dan getaran yang lebih rendah semasa operasi.
6. Kawalan alam sekitar: Penggunaan penyejuk dalam mesin salutan ion vakum juga boleh mengawal suhu dan kelembapan ambien untuk menyediakan persekitaran kerja yang baik. Suhu dan kelembapan ambien yang sesuai boleh meningkatkan tahap vakum, mengurangkan kesan kekotoran dan gas, dan meningkatkan kualiti salutan.
Secara ringkasnya, penerapanpenyejukdalam mesin salutan ion vakum meliputi banyak aspek seperti sasaran penyejukan, substrat penyejukan, peralatan penyejukan dan kawalan alam sekitar, memastikan kawalan suhu peralatan dan bahan kerja semasa proses salutan, meningkatkan kualiti salutan dan Produktiviti.